名称：低流量微型比例阀
英文名：Thermally compensated Low Flow proporational valve
生产厂商：美国Pneutronics
型号：VSO-LF
描述： 美国Pneutronics工厂生产的VSO® LF (低流量) 可以提供像 VSO® 阀一样的性能，但是应用于流量低于600SCCM（600毫升/分钟）的情况下。这种微型电磁阀可以根据输入电流信号自动控制气体的流量。
应用：分析仪器，医疗仪器的气体流量比例控制
特点
· 应用于低于600毫升/分钟流量的要求。
· 直流信号、脉冲调幅信号的闭环反馈驱动，达到系统最优化性能。
· 提供计算机自动校正和全面追溯的校正。
· 使用寿命可达10000万次循环。
· 通过热补偿保持理想流速。
· 高重复性。
规格：
物理性能
阀类型: 2-通 常闭型
介质: 气体，包括空气、氢气、氧气、氦气、甲烷、氮气等气体
操作温度: 0到55°C
储存温度：-40到70°C
尺寸:
长度：43.54mm
宽度：16.51mm
高度：17.02mm
接口: 压接
重量: 2.2 oz (62.86 克)
内部体积: 0.508sccm
过滤要求：
17 micron
润滑剂：不需要
氧气适用性：可以
电气性能
功率：最大2瓦
电压：多种
性能特点
操作压力: 0到150 psig；或0到27”真空度
泄漏速率: <0.2sccm 氦测试，气泡检测
响应速度: 小于15毫秒每循环
有效通径：
0.030" (0.762 mm)
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